Техникийн үзүүлэлтүүд:
| Зүйл | Параметр |
| Туршилтын хүрээ | 0.01~6500(cc/㎡.24цаг) |
| Нарийвчлалын харьцаа | 0.001 |
| Нэвчилттэй гадаргуугийн талбай | 50 цент (бусадыг нь захиалгаар хийх ёстой) |
| Микроцөмийн диаметрийг хэмжих | 108*108мм |
| Дээжийн зузаан | <3 мм (зузаан дагалдах хэрэгсэл нэмэх шаардлагатай) |
| Дээжийн тоо хэмжээ | 1 |
| Туршилтын горим | Бие даасан мэдрэгч |
| Температурын хүрээ | 15℃ ~ 55℃ (температурын хяналтын төхөөрөмжийг тусад нь худалдаж авна) |
| Температурын хяналтын нарийвчлал | ±0.1℃ |
| Тээвэрлэгч хий | 99.999% өндөр цэвэршилттэй азот (агаарын эх үүсвэр хэрэглэгч) |
| Тээвэрлэгч хийн урсгал | 0~100 мл/мин |
| Агаарын эх үүсвэрийн даралт | ≥0.2MPa |
| Интерфэйсийн хэмжээ | 1/8 инчийн металл хоолой |
| Хэмжээ | 740мм (Урт)×415 мм (Өргөн)×430мм (Өндөр) |
| Хүчдэл | Хувьсах гүйдэл 220В 50Гц |
| Цэвэр жин | 50кг |